Ekskavatora spiediena sensors ir visplašāk izmantotais sensors, tas ir vispārīgs termins gāzes, šķidruma, cieto un citu vielu noteikšanai starp induktīvā spēka enerģiju, ietver arī
Manometri, kas mēra gaisa spiedienu virs un vakuuma mērītāji, kas mēra gaisa spiedienu zemāk. Ir daudz veidu spēka sensoru, tradicionālā mērīšanas metode ir elastīgo elementu deformācijas un nobīdes pielietošana, lai izteiktu elektriskās iesmidzināšanas dzinēja uzturēšanu, taču tā tilpums ir liels, neveikls un izvade ir nelineāra. Pieaugot mikroelektronikas prasmēm, pielietojot pusvadītāju materiālu pjezorezistīvo efektu un augstāko elastību, attīstot pusvadītāju spēka sensorus, svarīgus divus silīcija pjezorezistīvos un kapacitatīvos, tiem ir mazs izmērs, viegls svars, augstas jutības priekšrocības, un tos plaši izmanto pusvadītāju spēkā. sensori. Kad pusvadītājs tiek nospriegts uz augšu uz kristāla, tā pretestība mainīsies. Sakarību starp vadītāja pretestības izmaiņu un spriegumu sauc par pusvadītāja pjezorezistīvo efektu, un no šī efekta izgatavoto mehānisko daudzuma sensoru sauc par pjezorezistīvo spēka sensoru, kuram ir divi veidi, viens ir sensors, kas izgatavots no pusvadītāja deformācijas mērītāja, kas ielīmēts uz pusvadītāja. elastīgais elements, ko sauc par ielīmēto pjezorezistīvo sensoru. Otra ir difūzijas pretestība, kas izgatavota no integrētās shēmas tehnoloģijas uz pusvadītāju materiāla substrāta, lai deformācijas mērītājs un silīcija substrāts veidotu vienu un to pašu sensoru, ko sauc par difūzijas pjezorezistīvo sensoru. Tam ir augsta jutība, augsta precizitāte, mazs izmērs, viegls svars, augsta darba frekvence, vienkārša struktūra, uzticams darbs un ilgs kalpošanas laiks.