Parasti izmantotais pusvadītāju spiediena sensors kā substrātu izmanto N veida silīcija vafeļu. Pirmkārt, silīcija vafele tiek izgatavota elastīgā stresa daļā ar noteiktu ģeometriju. Silīcija vafeles stresa daļā, kas satur silīcija vafeļu, pa dažādiem kristāla virzieniem tiek izgatavoti četri P veida difūzijas rezistori, un pēc tam ar šiem četriem rezistoriem veidojas četru roku kviešu akmens tilts. Ārējā spēka darbībā pretestības vērtību izmaiņas kļūst par elektriskiem signāliem. Šis kviešu akmens tilts ar spiediena efektu ir spiediena sensora sirds, ko parasti sauc par pjezoresistisko tiltu (kā parādīts 1. attēlā). Pjezoresistiskā tilta īpašības ir šādas: ① Tilta četru ieroču pretestības vērtības ir vienādas (visi R0); ② Tilta blakus esošo ieroču pjezorezistīvā iedarbība ir vienāda ar vērtību un pretējo zīmi; ③ Tilta četru ieroču pretestības temperatūras koeficients ir vienāds, un tie vienmēr ir tādā pašā temperatūrā. Att. 1, R0 ir pretestības vērtība bez stresa istabas temperatūrā; RT ir izmaiņas, ko izraisa temperatūras pretestības koeficients (α), mainoties temperatūrai; Υ rδ ir pretestības izmaiņas, ko izraisa celms (ε); Tilta izejas spriegums ir U = I0 Δ RΔ = I0RGΔ (nemainīgs strāvas avota tilts).

Kur i0 ir nemainīga strāvas avota strāva un E ir nemainīgs sprieguma avota spriegums. Pjezoresistiskā tilta izejas spriegums ir tieši proporcionāls celmam (ε), un tam nav nekā kopīga ar RT, ko izraisa pretestības temperatūras koeficients, kas ievērojami samazina sensora temperatūras novirzi. Visplašāk izmantotais pusvadītāju spiediena sensors ir sensors šķidruma spiediena noteikšanai. Tās galvenā struktūra ir kapsula, kas izgatavota no monokristāliska silīcija (kā parādīts 2. attēlā). Diafragma tiek izgatavota kausā, un kausa apakšdaļa ir daļa, kas satur ārējo spēku, un spiediena tilts ir izgatavots krūzes apakšā. Gredzena pjedestāls ir izgatavots no tā paša silīcija viena kristāla materiāla, un pēc tam diafragmu piesiet pie pjedestāla. Šāda veida spiediena sensoram ir augstas jutības, neliela tilpuma un stabilitātes priekšrocības, un tas ir plaši izmantots aviācijas, kosmosa navigācijā, automatizācijas instrumentos un medicīniskajos instrumentos.