Parasti izmantotais pusvadītāju spiediena sensors kā substrātu izmanto N-veida silīcija plāksni. Pirmkārt, no silīcija vafeles tiek izgatavota elastīga sprieguma nesoša daļa ar noteiktu ģeometriju. Silīcija vafeles spriegumu nesošajā daļā pa dažādiem kristāla virzieniem tiek izgatavoti četri P tipa difūzijas rezistori, un pēc tam ar šiem četriem rezistoriem tiek izveidots četru roku Vitstona tilts. Ārēja spēka iedarbībā pretestības vērtību izmaiņas kļūst par elektriskiem signāliem. Šis Wheatstone tilts ar spiediena efektu ir spiediena sensora sirds, ko parasti sauc par pjezorezistīvo tiltu (kā parādīts 1. attēlā). Pjezorezistīvā tilta raksturlielumi ir šādi: ① tilta četru atzaru pretestības vērtības ir vienādas (visi r0); ② Tilta blakus esošo atzaru pjezorezistīvais efekts ir vienāds pēc vērtības un pretējs pēc zīmes; ③ Tilta četru roku pretestības temperatūras koeficients ir vienāds, un tie vienmēr ir vienā temperatūrā. attēlā. 1, R0 ir pretestības vērtība bez sprieguma istabas temperatūrā; RT ir izmaiņas, ko izraisa temperatūras pretestības koeficients (α), mainoties temperatūrai; Υ Rδ ir pretestības izmaiņas, ko izraisa deformācija (ε); Tilta izejas spriegums ir u=I0 Δ Rδ=I0RGδ (pastāvīgas strāvas avota tilts).

Kur I0 ir pastāvīga strāvas avota strāva un e ir nemainīga sprieguma avota spriegums. Pjezorezistīvā tilta izejas spriegums ir tieši proporcionāls deformācijai (ε), un tam nav nekāda sakara ar RT, ko izraisa pretestības temperatūras koeficients, kas ievērojami samazina sensora temperatūras novirzi. Visplašāk izmantotais pusvadītāju spiediena sensors ir sensors šķidruma spiediena noteikšanai. Tās galvenā struktūra ir kapsula, kas izgatavota no monokristāliskā silīcija (kā parādīts 2. attēlā). No diafragmas tiek veidota krūze, un krūzes apakšdaļa ir daļa, kas nes ārējo spēku, un spiediena tilts ir izveidots krūzes apakšā. Gredzena pjedestāls ir izgatavots no tā paša silīcija monokristāla materiāla, un pēc tam diafragma ir savienota ar pjedestālu. Šāda veida spiediena sensoram ir augsta jutība, mazs tilpums un cietība, un tas ir plaši izmantots aviācijā, kosmosa navigācijā, automatizācijas instrumentos un medicīnas instrumentos.