Vienas mikroshēmas vakuuma ģenerators CTA (B) -a ar diviem mērīšanas portiem

Galvenie faktori, kas ietekmē vakuuma ģeneratora darbību

1 Difūzijas caurules garumam būtu jānodrošina pilnīga dažādu viļņu sistēmu attīstība sprauslas kontaktligzdā, lai difūzijas caurules kontaktligzdas sadaļā varētu iegūt aptuveni vienmērīgu plūsmu. Tomēr, ja caurule ir pārāk gara, palielināsies caurules sienas berzes zudums. Ir saprātīgi, ka vispārējs santehniķis ir 6-10 reizes lielāks par caurules diametru. Lai samazinātu enerģijas zudumu, difūzijas caurules taisnās caurules kontaktligzdā var pievienot izplešanās sekciju ar izplešanās leņķi 6-8.

2 Adsorbcijas reakcijas laiks ir saistīts ar adsorbcijas dobuma tilpumu (ieskaitot difūzijas dobuma tilpumu, adsorbcijas cauruļvadu, iesūkšanas kausu vai slēgtu kameru utt.), Un adsorbcijas virsmas noplūde ir saistīta ar spiedienu nepieciešamajā sūkšanas portā. Noteiktai spiediena prasībai iesūkšanas portā, jo mazāks ir adsorbcijas dobuma tilpums, jo īsāks ir reakcijas laiks; Ja spiediens iesūkšanas ieplūdes vietā ir augstāks, adsorbcijas tilpums ir mazāks, virsmas noplūde ir mazāka, un adsorbcijas reakcijas laiks ir īsāks. Ja adsorbcijas tilpums ir liels un adsorbcijas ātrums ir ātrs, vakuuma ģeneratora sprauslas diametram jābūt lielākam.

3 Vakuuma ģeneratora gaisa patēriņš (L/min) jāsamazina, lai izpildītu lietošanas prasības. Gaisa patēriņš ir saistīts ar saspiesta gaisa piegādes spiedienu. Jo lielāks spiediens, jo lielāks vakuuma ģeneratora gaisa patēriņš. Tāpēc, nosakot spiediena nodokli iesūkšanas ostā, uzmanība jāpievērš attiecībām starp piegādes spiedienu un gaisa patēriņu. Parasti vakuuma ģeneratora ģenerētais spiediens sūkšanas portā ir no 20 kPa līdz 10 kPa. Šajā laikā, ja skaitītāja spiediens Ķīnas piegādei atkal palielinās, spiediens sūkšanas ostā nepalielināsies, bet gāzes patēriņš palielināsies. Tāpēc spiediena samazināšana sūkšanas portā jāapsver no plūsmas ātruma kontroles aspekta.