Viena mikroshēmas vakuuma ģenerators CTA(B)-A ar diviem mērīšanas portiem

Galvenie faktori, kas ietekmē vakuuma ģeneratora darbību

1Difūzijas caurules garumam jānodrošina dažādu viļņu sistēmu pilnīga attīstība pie sprauslas izejas, lai difūzijas caurules izplūdes daļā varētu iegūt aptuveni vienmērīgu plūsmu. Tomēr, ja caurule ir pārāk gara, palielināsies caurules sienas berzes zudums. Ir saprātīgi, ja santehniķis ir 6–10 reizes lielāks par caurules diametru. Lai samazinātu enerģijas zudumus, difūzijas caurules taisnās caurules izejā var pievienot izplešanās sekciju ar izplešanās leņķi 6-8.

2 Adsorbcijas reakcijas laiks ir saistīts ar adsorbcijas dobuma tilpumu (ieskaitot difūzijas dobuma tilpumu, adsorbcijas cauruļvadu, piesūcekni vai slēgtu kameru utt.), un adsorbcijas virsmas noplūde ir saistīta ar spiedienu vajadzīgajā līmenī. sūkšanas ports. Pie noteiktas spiediena prasības iesūkšanas atverē, jo mazāks ir adsorbcijas dobuma tilpums, jo īsāks reakcijas laiks; Ja spiediens pie iesūkšanas ieplūdes ir lielāks, adsorbcijas tilpums ir mazāks, virsmas noplūde ir mazāka un adsorbcijas reakcijas laiks ir īsāks. Ja adsorbcijas tilpums ir liels un adsorbcijas ātrums ir ātrs, vakuuma ģeneratora sprauslas diametram jābūt lielākam.

3 Vakuuma ģeneratora gaisa patēriņš (L/min) ir jāsamazina, pamatojoties uz lietošanas prasībām. Gaisa patēriņš ir saistīts ar saspiestā gaisa pieplūdes spiedienu. Jo lielāks spiediens, jo lielāks ir vakuuma ģeneratora gaisa patēriņš. Tāpēc, nosakot spiediena slodzi iesūkšanas atverē, uzmanība jāpievērš saistībai starp padeves spiedienu un gaisa patēriņu. Parasti spiediens sūkšanas atverē, ko rada vakuuma ģenerators, ir no 20 kPa līdz 10 kPa. Šobrīd, ja Ķīnas piegādes skaitītāja spiediens atkal palielinās, spiediens sūkšanas pieslēgvietā nesamazināsies, bet palielināsies gāzes patēriņš. Tāpēc spiediena samazināšana pie iesūkšanas atveres jāapsver no plūsmas ātruma kontroles aspekta.