Piemērojams Passat degvielas kopējais sliedes spiediena sensors 06E906051K

1. Metode spiediena sensora veidošanai, kas satur:

Pusvadītāju substrāta nodrošināšana, kurā pirmais starplayer dielektriskais slānis, pusvadītāja substrātā tiek veidots pirmais starpslāņu dielektriskais slānis un otrs starpslāņu dielektriskais slānis.

Apakšējā elektrodu plāksne pirmajā starpslāņa dielektriskajā slānī - pirmais savstarpējais elektrods, kas atrodas uz tā paša slāņa kā apakšējā elektrodu plāksne un izvietota atsevišķi.

Slāņu savienošana;

Upurēšanas slāņa veidošana virs apakšējās polārās plāksnes;

Veidojot augšējo elektrodu plāksni uz pirmā starpslāņu dielektriskā slāņa, pirmā savienojuma slāņa un upura slāņa;

Pēc upura slāņa veidošanas un augšējās plāksnes veidošanas pirmajā starpsavienojuma slānī

Veidojot savienojuma rievu un piepildot savienojuma rievu ar augšējo plāksni, lai elektriski savienotu ar pirmo savienojuma slāni; Vai

Pēc augšējās elektrodu plāksnes veidošanas rievas veidojas augšējā elektrodu plāksnē un pirmajā starpsavienojuma slānī, kas

Veidojot vadītspējīgu slāni, kas savieno augšējo elektrodu plāksni un pirmo savienojuma slāni savienojuma rievā;

Pēc augšējās plāksnes un pirmā savienojuma slāņa elektrības savienošanas, noņemot upurēšanas slāni, veidojot dobumu.

2. Metode spiediena sensora veidošanai saskaņā ar 1. punktu, kur pirmajā slānī

Upurēšanas slāņa veidošanas metode uz starpslāņu dielektrisko slāni ietver šādas darbības:

Upurēšanas materiāla slāņa nogulsnēšanās uz pirmā starpslāņu dielektriskā slāņa;

Upurēšanas materiāla slāņa modelēšana, lai veidotu upurēšanas slāni.

3. Spiediena sensora veidošanas metode saskaņā ar 2. pretenziju, kurā tiek izmantota fotolitogrāfija un gravēšana.

Upurēšanas materiāla slānis tiek veidots, izmantojot kodināšanas procesu.

4. Metode spiediena sensora veidošanai saskaņā ar 3. pretenziju, kurā upurēšanas slānis

Materiāls ir amorfs ogleklis vai germānijs.

5. Metode spiediena sensora veidošanai saskaņā ar 4. punktu, kur upurēšanas slānis

Materiāls ir amorfs ogleklis;

Kodināšanas gāzes, ko izmanto upurēšanas materiāla slāņa kodināšanas procesā, ir O2, CO, N2 un AR;

Parametri upurēšanas materiāla slāņa kodināšanas procesā ir: O2 plūsmas diapazons ir 18 SCCM ~ 22 SCCM, un CO plūsmas ātrums ir 10%.

Plūsmas ātrums svārstās no 90 SCCM līdz 110 SCCM, N2 plūsmas ātrums svārstās no 90 SCCM līdz 110 SCCM un AR plūsmas ātrums.

Diapazons ir 90 sccm ~ 110 sccm, spiediena diapazons ir 90 mtor ~ 110 mtor, un novirzes jauda ir

540W ～ 660W。