Attiecas uz Passat degvielas kopējā sliedes spiediena sensoru 06E906051K

1. Paņēmiens spiediena sensora veidošanai, kas ietver:

Pusvadītāju substrāta nodrošināšana, kur pirmais starpslāņa dielektriskais slānis, pirmais starpslāņa dielektriskais slānis un otrs starpslāņa dielektriskais slānis ir izveidots uz pusvadītāja substrāta.

Apakšējā elektroda plāksne pirmajā starpslāņa dielektriskajā slānī, pirmais savstarpējais elektrods, kas atrodas tajā pašā slānī, kur apakšējā elektroda plāksne, un atrodas atstatus viens no otra.

Savienojošie slāņi;

Veidojot upurēšanas slāni virs apakšējās polārās plāksnes;

Augšējo elektrodu plāksnes veidošana uz pirmā starpslāņa dielektriskā slāņa, pirmā starpsavienojuma slāņa un upura slāņa;

Pēc upura slāņa veidošanas un pirms augšējās plāksnes veidošanas, pirmajā starpsavienojuma slānī

Savienojuma rievas izveidošana un savienojuma rievas piepildīšana ar augšējo plāksni, lai elektriski savienotos ar pirmo starpsavienojuma slāni; vai,

Pēc augšējās elektroda plāksnes izveidošanas augšējā elektroda plāksnē un pirmajā starpsavienojuma slānī tiek izveidotas savienojošās rievas, kas

Veidojot vadošu slāni, kas savieno augšējo elektrodu plāksni un pirmo starpsavienojuma slāni savienojuma rievā;

Pēc augšējās plāksnes un pirmā starpsavienojuma slāņa elektriskās savienošanas, upurējošā slāņa noņemšana, lai izveidotu dobumu.

2. Paņēmiens spiediena sensora veidošanai saskaņā ar 1. punktu, kas atšķiras ar to, ka pirmajā slānī

Metode upura slāņa veidošanai uz starpslāņa dielektriskā slāņa ietver šādas darbības:

Upurējamā materiāla slāņa uzklāšana uz pirmā starpslāņa dielektriskā slāņa;

Upura materiāla slāņa rakstīšana, veidojot upurēšanas slāni.

3. Paņēmiens spiediena sensora veidošanai saskaņā ar 2. punktu, kas atšķiras ar to, ka tiek izmantota fotolitogrāfija un gravēšana.

Upura materiāla slānis ir iestrādāts kodināšanas procesā.

4. Spiediena sensora veidošanas paņēmiens saskaņā ar 3. punktu, kas atšķiras ar to, ka atlaišanas slānis

Materiāls ir amorfs ogleklis vai germānija.

5. Spiediena sensora veidošanas paņēmiens saskaņā ar 4. punktu, kas atšķiras ar to, ka atlaišanas slānis

Materiāls ir amorfs ogleklis;

Kodināšanas gāzes, ko izmanto upura materiāla slāņa kodināšanas procesā, ir O2, CO, N2 un Ar;

Upurējamā materiāla slāņa kodināšanas procesa parametri ir šādi: O2 plūsmas diapazons ir 18 SCCM ~ 22 SCCM, un CO plūsmas ātrums ir 10%.

Plūsmas ātrums svārstās no 90 SCCM līdz 110 SCCM, N2 plūsmas ātrums svārstās no 90 SCCM līdz 110 SCCM un Ar plūsmas ātrums.

Diapazons ir 90 SCCM ~ 110 SCCM, spiediena diapazons ir 90 mtor ~ 110 mtor, un novirzes jauda ir

540w līdz 660w.