Motora spiediena sensors 2CP3-68 1946725 Kārtera ekskavatoram

Metode spiediena sensora sagatavošanai, ko raksturo šādas darbības:

S1, nodrošinot vafeļu ar aizmugurējo virsmu un priekšējo virsmu; Veidojot pjezoresistisku sloksni un stipri leģētu kontakta zonu uz vafeles priekšējās virsmas; Veidojot spiedienu dziļa dobumu, kodinot vafeles muguras virsmu;

S2, kas saistīta ar atbalsta lapu vafeles aizmugurē;

S3, svina caurumu un metāla vadu ražošana vafeles priekšējā pusē un savienojošās pjezorezistakšu sloksnes, lai izveidotu Wheatstone tiltu;

S4, novietojot un veidojot pasivācijas slāni uz vafeles priekšējās virsmas un atverot daļu pasivācijas slāņa, lai izveidotu metāla spilventiņu laukumu. 2. Spiediena sensora ražošanas metode saskaņā ar 1. pretenziju, kurā S1 īpaši satur šādas darbības: S11: Vafeļu nodrošināšana ar aizmugurējo virsmu un priekšējo virsmu un nosaka spiediena jutīgas plēves biezumu uz vafeles; S12: jonu implantāciju izmanto uz vafeles priekšējās virsmas, pjezoresistiskās sloksnes ražo ar augsta temperatūras difūzijas procesu, un kontaktu reģioni ir stipri leģēti; S13: aizsargājoša slāņa nogulsnēšana un veidošana uz vafeles priekšējās virsmas; S14: kodināšana un spiediena dziļa dobuma veidošana vafeles aizmugurē, veidojot spiedienu jutīgu plēvi. 3. Spiediena sensora ražošanas metode saskaņā ar 1. punktu, kurā vafele ir SOI.

1962. gadā Tufte et al. Pirmo reizi ražoja pjezoresistiska spiediena sensoru ar izkliedētu silīcija pjezoresistiskām sloksnēm un silīcija plēves struktūru un sāka pētījumu par pjezorezistīva spiediena sensoru. Sešdesmito gadu beigās un 70. gadu sākumā trīs tehnoloģiju, proti, silīcija anizotropās kodināšanas tehnoloģijas, jonu implantācijas tehnoloģija un anodiskā saistīšanas tehnoloģija, parādīšanās izraisīja lielas izmaiņas spiediena sensorā, kam bija nozīmīga loma spiediena sensora veiktspējas uzlabošanā. Kopš astoņdesmitajiem gadiem, turpinot attīstīt mikromahinēšanas tehnoloģiju, piemēram, anizotropisko kodināšanu, litogrāfiju, difūzijas dopingu, jonu implantāciju, savienošanu un pārklājumu, spiediena sensora lielums ir nepārtraukti samazināts, jutība ir uzlabota, un izvade ir augsta, un veiktspēja ir lieliska. Tajā pašā laikā jaunas mikromahinēšanas tehnoloģijas izstrāde un pielietošana padara spiediena sensora plēves biezumu precīzi kontrolētu.