Dzinēja spiediena sensors 2CP3-68 1946725 ekskavatoram Carter

Metode spiediena sensora sagatavošanai, ko raksturo šādas darbības:

S1, nodrošinot vafeles ar aizmugurējo virsmu un priekšējo virsmu; Veidojot pjezorezistīvu sloksni un stipri leģētu kontaktu laukumu uz vafeles priekšējās virsmas; Spiediena dziļa dobuma veidošana, kodinot vafeles aizmugurējo virsmu;

S2, atbalsta loksnes pielīmēšana vafeles aizmugurē;

S3, kas ražo svina caurumus un metāla stieples vafeles priekšpusē un savieno pjezorezistīvās sloksnes, lai izveidotu Vitstonas tiltu;

S4, uzklājot un veidojot pasivācijas slāni uz vafeles priekšējās virsmas, un atverot pasivācijas slāņa daļu, veidojot metāla paliktņa laukumu. 2. Spiediena sensora izgatavošanas metode saskaņā ar 1. punktu, kas atšķiras ar to, ka S1 īpaši ietver šādas darbības: S11: vafeles nodrošināšana ar aizmugurējo virsmu un priekšējo virsmu un spiedienjutīgas plēves biezuma noteikšana uz vafeles; S12: jonu implantācija tiek izmantota vafeles priekšējā virsmā, pjezorezistīvās sloksnes tiek ražotas augstas temperatūras difūzijas procesā, un saskares apgabali ir stipri leģēti; S13: aizsargkārtas nogulsnēšana un veidošana uz vafeles priekšējās virsmas; S14: kodināšana un spiediena dziļa dobuma veidošana vafeles aizmugurē, lai izveidotu spiedienjutīgu plēvi. 3. Spiediena sensora ražošanas metode saskaņā ar 1. punktu, kas atšķiras ar to, ka vafele ir SOI.

1962. gadā Tufte et al. pirmo reizi izgatavoja pjezorezistīvo spiediena sensoru ar izkliedētām silīcija pjezorezistīvām sloksnēm un silīcija plēves struktūru un uzsāka pjezorezistīvā spiediena sensora izpēti. 60. gadu beigās un 70. gadu sākumā trīs tehnoloģiju parādīšanās, proti, silīcija anizotropās kodināšanas tehnoloģija, jonu implantācijas tehnoloģija un anodiskās savienošanas tehnoloģija, ienesa lielas izmaiņas spiediena sensorā, kam bija svarīga loma spiediena sensora veiktspējas uzlabošanā. . Kopš 1980. gadiem, attīstot mikroapstrādes tehnoloģiju, piemēram, anizotropo kodināšanu, litogrāfiju, difūzijas dopingu, jonu implantāciju, savienošanu un pārklāšanu, spiediena sensora izmērs ir nepārtraukti samazināts, jutība ir uzlabota, un jauda ir augsta un sniegums izcils. Tajā pašā laikā jaunas mikroapstrādes tehnoloģijas izstrāde un pielietošana ļauj precīzi kontrolēt spiediena sensora plēves biezumu.